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電子線描画装置、電子ビーム描画装置（EB描画装置）などの微細加工装置、計測・分析装置の研究・開発・設計・製造・販売、および関連技術の提供を行う。半導体製造プロセスにおける先端技術を支える製品をグローバルに展開している。
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