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真空成膜装置の開発・製造・販売、特に電子部品、ディスプレイ、太陽電池などの先端分野向けの低ダメージスパッタリング成膜技術の提供、事業の展開、独自技術による高効率・高速度成膜、海外向け装置開発、ペロブスカイト太陽電池用装置開発。
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