Company Profile
超高真空機器の設計・製造・販売、プラズマ応用機器の設計・製造・販売、実験・計測用機器の設計・製造・販売。半導体製造や研究開発分野向けの装置、プラズマ処理装置、制御システムの提供に加え、真空技術、プラズマ技術を基盤としたソリューションの提供の実現。
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