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半導体装置用クリーン配管の設計、製造、販売。ガスシステム、半導体用特殊ガス装置、各種ガス関連機器、関連付帯設備の提供。半導体製造装置開発、研究開発用設備の製作、真空チャンバー、排気システムの設計・製作など、半導体産業向けの幅広いソリューションの提供。
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